发明名称 FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08316196(A) 申请公布日期 1996.11.29
申请号 JP19950123285 申请日期 1995.05.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUI YOSHIKO
分类号 H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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