发明名称 Streueinheit zur Untersuchung der Oberflächenbeschaffenheit mittels diffuser Atomstreuung an Festkörperoberflächen insbesondere im Bereich der Oberflächenphysik und Molekularstrahlepitaxie
摘要
申请公布号 DE29609227(U1) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19962009227U 申请日期 1996.05.24
申请人 STEINRUECK, HANS-PETER, PROF. DR., 97320 MAINSTOCKHEIM, DE;MAIER, FLORIAN, 94051 HAUZENBERG, DE 发明人
分类号 G01B15/08;G01N23/225;H01J49/14;(IPC1-7):H01J41/02 主分类号 G01B15/08
代理机构 代理人
主权项
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