发明名称 CVD-Verfahren zur Herstellung von Wolfram
摘要
申请公布号 DE69118192(T2) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19916018192T 申请日期 1991.12.27
申请人 SMALL POWER COMMUNICATION SYSTEMS RESEARCH LABORATORIES CO., LTD., SENDAI, MIYAGI, JP 发明人 HIRANO, KIICHI, SMALL POWER COMMUNICATION SYSTEMS, AOBA-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;TAKEDA, NOBUO, SMALL POWER COMMUNICATION SYSTEMS, AOBA-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 C23C16/14;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/14;C23C16/08 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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