发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit einem Kondensator, wobei polykristallines Silizium mit mikrorauher Oberfläche verwendet wird
摘要
申请公布号 DE69122796(D1) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE1991622796 申请日期 1991.03.20
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WATANABE, HIROHITO, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP;TATSUMI, TORU, C/O NEC CORPORATION, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L21/02;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L29/94;H01L29/04;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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