发明名称 Integrierte Schaltung mit Siliziumkontakt zu einem Silizid
摘要
申请公布号 DE69214792(D1) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE1992614792 申请日期 1992.12.10
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 LEE, KUO-HUA, WESCOSVILLE, PENNSYLVANIA 18106, US;YU, CHEN-HUA DOUGLAS, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18103, US
分类号 H01L21/20;H01L21/3215;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/285 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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