| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ionisation von Probenmaterial, bei dem mittels einer hochfrequenzbetriebenen Magnetron-Glimmentladung ein Plasma an einem das Probenmaterial enthaltenden Target erzeugt und mit Hilfe eines Sputtergases Probenmaterial zur Weitergabe an ein Massenspektrometer aus dem Target herausgelöst und ionisiert wird. Dabei wird an der Oberfläche des Targets ein magnetisches Feld derart gebildet, daß die magnetischen Feldlinien im Plasmabereich eine Orientierung zur Targetoberfläche hin aufweisen. Es ist vorteilhaft, an der vom Plasma abgewandten Targetseite einen Magneten vorzusehen, der so angeordnet wird, daß die magnetischen Feldlinien im Plasmabereich eine Orientirung zur Targetoberfläche hin aufweisen.</p> |
