发明名称 Excimerlaser
摘要
申请公布号 DE69122808(D1) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19916022808 申请日期 1991.07.05
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARUTA, KENYU, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;NAGAI, HARUHIKO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;NAKATANI, HAJIME, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;YAMAMOTO, YOSHIHIKO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;TAKEMURA, TAKETOSHI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;EURA, TAKASHI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;TSUBOI, SHUNGO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;MATSUSHITA, YOSHIFUMI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K, AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP;MINAGAWA, TADAO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., AMAGASAKI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01S3/038;H01S3/0971;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/038 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
主权项
地址