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发明名称 Zerstäubungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69120242(T2) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19916020242T 申请日期 1991.09.27
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP;SHIBAURA ENGINEERING WORKS CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIMOSE, YUICHIRO, C/O KABUSHIKI KAISHA, ZAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;IKEDA, JIRO, SHINAGAWA-KU, TOKYO, JP
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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