发明名称 Verfahren zum Herstellen von pseudo-planaren Dünnschicht PFET-Anordnungen und hierdurch erzeugte Struktur
摘要
申请公布号 DE69211329(T2) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE1992611329T 申请日期 1992.03.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CEDERBAUM, CARL, F-78000 VERSAILLES, FR;CHANCLOU, ROLAND, F-77930 PERTHES, FR;COMBES, MYRIAM, F-91000 EVRY, FR;MONE, PATRICK, F-77310 PONTHIERRY, FR
分类号 H01L21/8249;H01L21/8244;H01L27/06;H01L27/105;H01L27/11;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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