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发明名称
Verfahren zum epitaktischen Wachstum und Dotierung eines Verbindungskristalls
摘要
申请公布号
DE69118414(T2)
申请公布日期
1996.11.28
申请号
DE19916018414T
申请日期
1991.01.18
申请人
RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP;KURABAYASHI, TORU, SENDAI, MIYAGI, JP;NISHIZAWA, JUN-ICHI, SENDAI, MIYAGA, JP
发明人
KURABAYASHI, TORU, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI,, JP;NISHIZAWA JUN-ICHI, NISHIZAWA JUN-ICHI, AOBA-KU, SENDAI-SHI, JP
分类号
C30B25/02;C30B25/10;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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