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发明名称 Spektroskopischer Plasmabrenner für Mikrowellenplasma
摘要
申请公布号 DE69026136(T2) 申请公布日期 1996.11.28
申请号 DE19906026136T 申请日期 1990.05.09
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE), PALO ALTO, CALIF., US 发明人 WELLS, GREGORY JAMES, SUISUN, CALIFORNIA 60469, US;BOLTON, BARBARA ANN, ALBANY, CALIFORNIA 61145, US
分类号 G01N21/73;G01N30/74;H05H1/30;(IPC1-7):H05H1/30;H05H1/46 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
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