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发明名称
Electron microscope with camera and method of operating the same
摘要
申请公布号
EP0588572(B1)
申请公布日期
1996.11.27
申请号
EP19930307169
申请日期
1993.09.10
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
YONEHARA, KATSUHISA;KATSUTA, TEIJI;MATSUI, ISAO
分类号
H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/295;(IPC1-7):H01J37/244
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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