CLAMPLESS VACUUM HEAT TRANSFER STATION,申请号EP19960903495-传众专利搜索

发明名称	CLAMPLESS VACUUM HEAT TRANSFER STATION
摘要
申请公布号	EP0744083(A1)	申请公布日期	1996.11.27
申请号	EP19960903495	申请日期	1996.01.04
申请人	VARIAN ASSOCIATES, INC.	发明人	BOYD, TRACE, LEE
分类号	H01L21/677;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/68;F28F13/00;F28F23/00	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利