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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF HETEROEPITAXIAL LAYERS OF GALLIUM ARSENIDE
摘要
申请公布号 RU1589918(C) 申请公布日期 1996.11.27
申请号 SU19894638846 申请日期 1989.01.23
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.A.F.IOFFE 发明人 ABRAMOV A.V.;DERYAGIN N.G.;DOLGANOV A.V.;MIZEROV M.N.;SELIVERSTOV O.V.;TRETYAKOV D.N.
分类号 H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
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