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发明名称
摘要
申请公布号
JP2558732(B2)
申请公布日期
1996.11.27
申请号
JP19870222051
申请日期
1987.09.07
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
NIIMYABARA SHOZO
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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