发明名称 |
WASHING METHOD AND APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08309372(A) |
申请公布日期 |
1996.11.26 |
申请号 |
JP19950123273 |
申请日期 |
1995.05.23 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKEHARA HIROKO;HAMANO MEGUMI;KIKUCHI HIROSHI |
分类号 |
B08B3/08;B01J21/06;B01J23/06;B01J35/02;B08B3/14;C02F1/30;C02F1/463;C02F1/465;C02F1/72;(IPC1-7):C02F1/72 |
主分类号 |
B08B3/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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