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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08311649(A)
申请公布日期
1996.11.26
申请号
JP19950143940
申请日期
1995.05.18
申请人
YAMAHA CORP
发明人
YO TAKESHI
分类号
C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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