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发明名称 POLISHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08309648(A) 申请公布日期 1996.11.26
申请号 JP19950113337 申请日期 1995.05.11
申请人 NIKON CORP 发明人 TAKEUCHI ISAMU;KOYAMA TORU;SHIODA TAMOTSU
分类号 B24B51/00;B24B1/00;B24B9/14;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B51/00
代理机构 代理人
主权项
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