发明名称 METHOD FOR MAKING CONTACT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08306783(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950131159 申请日期 1995.05.02
申请人 SONY CORP 发明人 MORIKAWA TAKASHI
分类号 H01L21/285;H01L21/306;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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