发明名称 WIRING MATERIAL AND FORMATION OF WIRING LAYER
摘要
申请公布号 JPH08306693(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950210560 申请日期 1995.08.18
申请人 IBM JAPAN LTD 发明人 TAKAYAMA SHINJI
分类号 G02F1/1345;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;G02F1/134 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
主权项
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