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经营范围
发明名称
WIRING MATERIAL AND FORMATION OF WIRING LAYER
摘要
申请公布号
JPH08306693(A)
申请公布日期
1996.11.22
申请号
JP19950210560
申请日期
1995.08.18
申请人
IBM JAPAN LTD
发明人
TAKAYAMA SHINJI
分类号
G02F1/1345;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;G02F1/134
主分类号
G02F1/1345
代理机构
代理人
主权项
地址
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