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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08306780(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950113268 申请日期 1995.05.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUNADA TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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