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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING INDUCTION COUPLING PLASMA
摘要
申请公布号 JPH08306659(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950104327 申请日期 1995.04.27
申请人 SONY CORP 发明人 FUKUDA SEIICHI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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