发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08306638(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950111575 申请日期 1995.05.10
申请人 SONY CORP 发明人 MATSUKUBO TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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