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发明名称 PATTERN FORMING METHOD AND EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH08306612(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950108818 申请日期 1995.05.02
申请人 SONY CORP 发明人 SEKIGUCHI ATSUSHI
分类号 G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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