发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08306683(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950105303 申请日期 1995.04.28
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23C16/40;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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