| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08306678(A) |
申请公布日期 |
1996.11.22 |
| 申请号 |
JP19950109585 |
申请日期 |
1995.05.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIURA HIDEO;IKEDA SHUJI;SUZUKI NORIO;SAITO NAOTO;NISHIMURA ASAO |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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