| 发明名称 |
SUBSTRATE HEATING EQUIPMENT AND FILM FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08306626(A) |
申请公布日期 |
1996.11.22 |
| 申请号 |
JP19950107619 |
申请日期 |
1995.05.01 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
OKAMOTO TETSUYA;TAMAKI MAKOTO |
| 分类号 |
C30B25/12;C23C16/46;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
