发明名称 POLYSILICON LAYER FORMATION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH08306642(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19960106869 申请日期 1996.04.26
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 KEN GOSEI;KIN SHINTAI
分类号 H01L21/28;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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