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发明名称 ILLUMINATION DEVICE AND EXPOSURE METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH08305035(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19960048769 申请日期 1996.03.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGANO HIROYUKI;INOUE TAKASHI;YAMASHITA HIROSHI;SATO TAKEO;FUJITA YOSHIJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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