EO PROBE,申请号JP19950111493-传众专利搜索

发明名称	EO PROBE
摘要
申请公布号	JPH08304474(A)	申请公布日期	1996.11.22
申请号	JP19950111493	申请日期	1995.05.10
申请人	YOKOGAWA ELECTRIC CORP	发明人	UEDA TOSHITSUGU;OIKAWA SHINJI;SUGIYAMA SUNAO;KOYAMA KIYOAKI;SUZUKI MICHIHIRO;YAMAZAKI TSUTOMU;HAYASHI NAONORI
分类号	G01R31/302;B81B3/00;G01R19/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R19/00	主分类号	G01R31/302
代理机构		代理人
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