| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DYNAMICAL QUANTITY SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08306935(A) |
申请公布日期 |
1996.11.22 |
| 申请号 |
JP19950112024 |
申请日期 |
1995.05.10 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKAMURA HAJIME;IWASAKI JUN |
| 分类号 |
G01L1/18;G01L1/16;G01L9/00;G01L9/04;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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