发明名称 METHOD FOR EVALUATING OBJECT SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH08304053(A) 申请公布日期 1996.11.22
申请号 JP19950114306 申请日期 1995.05.12
申请人 UBE IND LTD 发明人 KITO MASAAKI;KAWAMURA TATSUJI
分类号 G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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