METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE MAGNETIC PARAMETERS OF THIN MAGNETIC LAYERS

摘要

Es wird ein Verfahren zur direkten Bestimmung magnetischer Kenngrössen dünner magnetisierbarer Schichten vorgestellt, bei dem ein magnetfelderzeugendes Element eine Magnetisierung einer Teilfläche in der Weise erzeugt, dass sich dabei die dünne magnetisierbare Schicht, das magnetfelderzeugende Element und ein Magnetfeldsensor in relativer Ruhelage zueinander befinden. Danach wird der Magnetfeldsensor durch eine Relativbewegung von magnetfelderzeugendem Element, Magnetfeldsensor und dünner magnetisierbarer Schicht gegenüber der magnetisierten Teilfläche positioniert. Während der anschliessenden Vermessung der Magnetisierung der Teilfläche befinden sich die dünne magnetische Schicht, das magnetfelderzeugende Element und der Magnetfeldsensor in relativer Ruhelage zueinander. Während des Vorgangs der Magnetisierung der Teilfläche und während der Vermessung der Magnetisierung dieser Teilfläche sind das magnetfelderzeugende Element und der Magnetfeldsensor räumlich voneinander getrennt.