| 摘要 |
<p>Eine optische Linsen-/Detektoranordnung weist auf der Strahlungseintrittsseite eines Substrats eine monolithisch ausgebildete Detektorschicht und auf der gegenüberliegenden Seite eine monolithisch ausgebildete Strahlungs-Ablenkeinrichtung auf. Die durch die Strahlungseintrittsseite in das Substrat eintretende Strahlung wird an der Strahlungs-Ablenkeinrichtung so reflektiert, daß die reflektierte Strahlung auf die Detektorschicht trifft und dort erfaßt wird. Die Strahlungs-Ablenkeinrichtung kann neben einer reflektierenden Wirkung auch eine lichtbeugende und/oder -brechende Wirkung haben, so daß die auftreffende Strahlung gesammelt und auf einen bestimmten Bereich der Detektorschicht fokussiert wird.</p> |
