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发明名称
WAFER SCRUBBER SYSTEM CONTROLLING GAP BETWEEN WAFER AND BRUSH AUTOMATICALLY
摘要
申请公布号
KR1019960015790(B1)
申请公布日期
1996.11.21
申请号
KR1019930004448
申请日期
1993.03.22
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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