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发明名称 Integrierte Halbleiter-Schaltungs-Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69027828(T2) 申请公布日期 1996.11.21
申请号 DE1990627828T 申请日期 1990.10.11
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KIKUCHI, HIDEO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA, 213, JP;TANIZAWA, TETSU, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA, 215, JP
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;G06F11/27;G11C17/12;H01L21/66;H01L21/82;H01L23/528;(IPC1-7):G06F11/26 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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