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发明名称 Method and apparatus for background correction in analysis of a specimen surface
摘要
申请公布号 EP0452825(B1) 申请公布日期 1996.11.20
申请号 EP19910105876 申请日期 1991.04.12
申请人 SHIMADZU CORPORATION 发明人 KOMI, HIDETO
分类号 G01N23/22;G01N23/225;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/256;(IPC1-7):G01N23/225 主分类号 G01N23/22
代理机构 代理人
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