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发明名称 METHOD FOR DOPING SILICON WITH CHALCOGENS
摘要
申请公布号 RU2069414(C1) 申请公布日期 1996.11.20
申请号 RU19940031613 申请日期 1994.08.29
申请人 INSTITUT FIZIKI POLUPROVODNIKOV SO RAN 发明人 ZAJTSEV BORIS A;MYASNIKOV ALEKSANDR M;TASKIN ALEKSEJ A;TISHKOVSKIJ EVGENIJ G;CHISTOKHIN IGOR B
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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