| 发明名称 |
Method for fabricating a diffusion barrier metal layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2300970(A) |
申请公布日期 |
1996.11.20 |
| 申请号 |
GB19960010393 |
申请日期 |
1996.05.17 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD |
发明人 |
KYEONG KEUN CHOI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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