Polylactide compounds as sensitivity enhancers for radiation sensitive mixtures,申请号EP19930302014-传众专利搜索

发明名称	Polylactide compounds as sensitivity enhancers for radiation sensitive mixtures
摘要
申请公布号	EP0561625(B1)	申请公布日期	1996.11.20
申请号	EP19930302014	申请日期	1993.03.17
申请人	OCG MICROELECTRONIC MATERIALS, INC.	发明人	FAVIER, JAMES G., JR.;FERREIRA, LAWRENCE;MCFARLAND, JOHN A., JR.
分类号	C09D4/00;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/031;G03F7/039;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004	主分类号	C09D4/00
代理机构		代理人
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