发明名称 |
DETECTION OF OPTIMUM MELTING LIQUID TEMPERATURE IN PRODUCTION PROCESS OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08301689(A) |
申请公布日期 |
1996.11.19 |
申请号 |
JP19950143801 |
申请日期 |
1995.05.02 |
申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
HIRAISHI YOSHINOBU |
分类号 |
C30B15/26;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/26 |
主分类号 |
C30B15/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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