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发明名称 Verwendung von Oxalylchlorid für die Herstellung chlorid-dotierter SiO2-Schichten auf Silikon-Substraten
摘要
申请公布号 DE69305251(D1) 申请公布日期 1996.11.14
申请号 DE19936005251 申请日期 1993.05.27
申请人 OLIN CORP., CHESHIRE, CONN., US 发明人 MCGEARY, MICHAEL J., MERIDEN, CONNECTICUT 06450, US;BOEGLIN, HERMAN J., SOUTH MERIDEN, CONNECTICUT 06450, US
分类号 C23F1/44;H01L21/00;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;C23F1/00 主分类号 C23F1/44
代理机构 代理人
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