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发明名称 Automatisches Testsystem und -verfahren für Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE19581288(T1) 申请公布日期 1996.11.14
申请号 DE19951081288T 申请日期 1995.09.04
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ONISHI, TAKESHI, GYODA, SAITAMA, JP;KAINUMA, TADASHI, GUNMA, JP;KOJIMA, KATSUMI, HASUDA, SAITAMA, JP;BANNAI, KUNIAKI, SAITAMA, JP;TANAKA, KOICHI, GYODA, SAITAMA, JP;YAMADA, NARUHITO, GYODA, SAITAMA, JP
分类号 G01R31/04;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/04
代理机构 代理人
主权项
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