| 申请人 |
STEAG MICRO-TECH GMBH STERNENFELS, 75447 STERNENFELS, DE |
发明人 |
MUEHLFRIEDEL, EBERHARD, 75433 MAULBRONN, DE;KUEBELBECK, ARMIN, 64625 BENSHEIM, DE;GERISCH, TORSTEN, 76137 KARLSRUHE, DE;APPICH, KARL, 75447 STERNENFELS, DE;SZEKERESCH, JAKOB, 75180 PFORZHEIM, DE;KALLIS, MARTIN, 75417 MUEHLACKER, DE |
