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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der kristallographischen Achse eines Einkristallbarrens
摘要
申请公布号 DE69214318(D1) 申请公布日期 1996.11.14
申请号 DE19926014318 申请日期 1992.02.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IBE, HIROYUKI, NYU-GUN, FUKUI-KEN, JP;TERASHIMA, SEIICHI, USUI-GUN, GUNMA-KEN, JP;MASUI, TSUMORU, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 G01N23/20;G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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