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发明名称
摘要
申请公布号 JP2553590(B2) 申请公布日期 1996.11.13
申请号 JP19870266787 申请日期 1987.10.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUSHITA YOSHISHIGE;FUKUMOTO KENJI;YAMAGUCHI YOSHIO
分类号 H01L21/205;C23C16/02;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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