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发明名称 Surface cleaning using a cryogenic aerosol
摘要
申请公布号 IE70238(B1) 申请公布日期 1996.11.13
申请号 IE19910001891 申请日期 1991.06.04
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MCDERMOTT WAYNE THOMAS;OCKOVIC RICHARD CARL;COOPER DOUGLAS WINSLOW;SCHWARZ ALEXANDER;WOFE HENRY LEWIS;WU JIN JWANG
分类号 H01L21/304;B08B3/12;B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/461;B08B5/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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