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发明名称 Dry development resist system
摘要
申请公布号 EP0394740(B1) 申请公布日期 1996.11.13
申请号 EP19900106831 申请日期 1990.04.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SEZI, RECAI, DR.-ING.;LEUSCHNER, RAINER, DR. RER. NAT.;SEBALD, MICHAEL, DR. RER. NAT.;BIRKLE, SIEGFRIED, DR. RER. NAT.;AHNE, HELLMUT, DR.
分类号 G03F7/075;G03F7/022;G03F7/26;G03F7/30;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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