| 发明名称 |
System for irradiating a surface with atomic and molecular ions using two dimensional magnetic scanning |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0473097(B1) |
申请公布日期 |
1996.11.13 |
| 申请号 |
EP19910114292 |
申请日期 |
1991.08.26 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED |
发明人 |
GLAVISH, HILTON F. |
| 分类号 |
G21K1/093;C23C14/48;H01F3/02;H01F7/20;H01J3/32;H01J29/76;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
G21K1/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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