多边形三杯双岛复合压力传感器

摘要

一种多边形三杯双岛复合压力传感器，它包括基体，用于测量差压的敏感电阻，用于测量静压的敏感电阻，温度敏感电阻和膜片，在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽，用于测量静压的敏感电阻布置在方形凹槽的中线和另外一方形凹槽的边缘，用于测量差压的敏感电阻布置在多边双岛形凹槽的凸台上。它可以实现微差压、高静压的精确测量，具有非线性补偿好和小电流，高灵敏度的优点。

主权项

1，一种多边形三杯双岛复合压力传感器，它包括基体，用于测量差压的敏感电阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4，用于测量静压的敏感电阻Rs1，Rs2Rs3，Rs4，温度敏感电阻Rt和膜片，其特征是：在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽，其中用于测量静压的敏感电阻Rs3布置在方形凹槽的中线，Rs1布置在在另外方形凹槽的边缘，用于测量差压的敏感电阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4布置在多边双岛形凹槽的凸台上。